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质料性能

项目
规格
检测要领
生长方法
直拉法
--
结晶性
单晶
--
几何尺寸
M10：182.2*182.2*φ247mm M10-L：182.2*183.75*φ247mm
硅片自动检测装备
厚度
130±8μm
硅片自动检测装备
项目:
生长方法
规格:
直拉法
检测要领:
--
项目:
结晶性
规格:
单晶
检测要领:
--
项目:
几何尺寸
规格:
M10：182.2*182.2*φ247mm M10-L：182.2*183.75*φ247mm
检测要领:
硅片自动检测装备
项目:
厚度
规格:
130±8μm
检测要领:
硅片自动检测装备

电性能

项目
规格
检测要领
电阻率
0.4-1.6 Ω.cm
硅片自动检测装备
少子寿命
≥1000/μs
瞬态光电导衰减法 注入水平：5E14cm-3（Sinton BCT-400）
氧含量
≤6E+17 at/cm?
傅里叶变换红外光谱仪
碳含量
≤5E+16 at/cm?
傅里叶变换红外光谱仪
项目:
电阻率
规格:
0.4-1.6 Ω.cm
检测要领:
硅片自动检测装备
项目:
少子寿命
规格:
≥1000/μs
检测要领:
瞬态光电导衰减法 注入水平：5E14cm-3（Sinton BCT-400）
项目:
氧含量
规格:
≤6E+17 at/cm?
检测要领:
傅里叶变换红外光谱仪
项目:
碳含量
规格:
≤5E+16 at/cm?
检测要领:
傅里叶变换红外光谱仪

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